Prof. Dr.-Ing. Matthias Wapler
Prof. Dr. Matthias Wapler
Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
Aktuelle Projekte
Nachhaltige Mikrosystemtechnik für Mikromechanik und biomedizinische Anwendungen
Laufzeit: 01.02.2024 bis 31.12.2025
Gerätebeschaffung zur Konsolidierung und Modernisierung des Mikrosystemtechnik Labors, indbesondere in bezug auf wirtschaftliche udn ökologische Nachhaltigkeit.
Mit einer neuen modularen Beschichtungsanlage mit unterschiedlichen Sputter- und Verdampfungsquellen können wir ein breites Spektrum an Dielektrika und Metallen in flexibler Zusammensetzung über ein breites Spektrum an Schichtdicken ressourcenschonend abscheiden. Ergänzt wird dies durch eine Parylen(Hochleistungspolymer)-Beschichtungsanlage zur Erzeugung von Isolationsschichten, ultradünnen Diffusionsbarrieren und mechanischen Schutzschichten. Zur Strukturierung im µm-Bereich werden wir unsere Laser-Strukturierungsanlage um eine Wellenlänge zur materialselektiven Laserablation ergänzen, und eine neue 5-Achs Mikrofräse dient zur Herstellung von mechanischen und fluidischen Strukturen im sub-mm Bereich, bzw. zur Herstellung entsprechender Abformungsformen. In der Charakterisierung werden wir unser modulares, integriertes Oberflächenprofilometer um ein Laser-Doppler Vibrometer zur dynamischen Oberflächenvermessung im Ultraschall-Bereich ergänzen können. Zu guter Letzt dient ein neuer Plasmaofen mit reduzierendem und oxidierendem Plasma der Oberflächenreinigung und -aktivierung, z.B. zum Plasmabonden.
Bleifreie programmierbare multistabile piezo-thermische Aktoren (LEAP)
Laufzeit: 01.06.2020 bis 31.05.2025
Ziel des Projekts ist die Entwicklung multistabiler und programmierbarer Aktuatoren mit kombinierter piezo- und thermischer Aktuation. Zusätzlich zur Verbesserung von Leistungsfähigkeit und Funktionalität werden hierbei Aktoren aus bleifreier Piezokeramik realisiert - eine große Herausforderung der Piezoaktorik
2023
Begutachteter Zeitschriftenartikel
Reliability of tunable lenses - feedback sensors and the influence of temperature, orientation, and vibrations
Gowda, Hitesh G. B.; Bodo, Elisabetta; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike
In: Applied optics - Washington, DC : Optical Soc. of America, Bd. 62 (2023), Heft 12, S. 3072-3082
In-line refractive index measurement - a simple method based on image detection
Bodo, Elisabetta; Gowda, Hitesh G. B.; Wallrabe, Ulrike; Wapler, Matthias C.
In: Applied optics - Washington, DC : Optical Soc. of America, Bd. 62 (2023), Heft 23, S. 6282-6286
Fully refractive telecentric f-theta microscope based on adaptive elements for 3D raster scanning of biological tissues
Wang, Wenjie; Schmidt, Katharina; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike; Czarske, Jürgen W.; Koukourakis, Nektarios
In: Optics express - Washington, DC : Optica, Bd. 31 (2023), Heft 18, S. 29703-29715
Higher order wavefront correction and axial scanning in a single fast and compact piezo-driven adaptive lens
Gowda, Hitesh G. B.; Wallrabe, Ulrike; Wapler, Matthias C.
In: Optics express - Washington, DC : Optica, Bd. 31 (2023), Heft 14, S. 23393-23405
Self-sensing of a magnetically actuated prism
Weber, Pascal M.; Wallrabe, Ulrike; Wapler, Matthias C.
In: Sensors - Basel : MDPI, Bd. 23 (2023), Heft 12, Artikel 5493, insges. 10 S.
A miniaturized piezo stack impact actuation mechanism for out-of-plane freely moveable masses
Wapler, Matthias C.; Peter, Constantin; Kanjilal, Koustav; Wallrabe, Ulrike
In: Micromachines - Basel : MDPI, Bd. 14 (2023), Heft 6, Artikel 1192, insges. 11 S.
Artikel in Kongressband
Herstellung hauchdünner, bleifreier Bariumtitanat-Piezokeramik mittels Inkjet Printing - Fabrication of wafer-thin, lead-free barium titanate piezoceramics using inkjet printing
Ketterer, Ines; Yang, Cheng-Kang; Cimen, Emine; Wapler, Matthias; Hanemann, Thomas
In: Tagung: MikroSystemTechnik Kongress 2023, Dresden, 23. - 25. Oktober 2023, Tagungsband MikroSystemTechnik Kongress 2023, Dresden, 23. - 25. Oktober 2023 , 2021 - Berlin : VDE Verlag ; Lakner, Hubert, S. 136-139
2021
Buchbeitrag
Bi-axial magnetically actuated tunable prism
Weber, Pascal M.; Wapler, Matthias C.; Lemke, Florian; Wallrabe, Ulrike
In: The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems , 2021 - [Piscataway, NJ] : IEEE, S. 431-434
- Prof. Thomas Hanemann