Prof. Dr.-Ing. Matthias Wapler
Current projects
Nachhaltige Mikrosystemtechnik für Mikromechanik und biomedizinische Anwendungen
Duration: 01.02.2024 bis 31.12.2025
Gerätebeschaffung zur Konsolidierung und Modernisierung des Mikrosystemtechnik Labors, indbesondere in bezug auf wirtschaftliche udn ökologische Nachhaltigkeit.
Mit einer neuen modularen Beschichtungsanlage mit unterschiedlichen Sputter- und Verdampfungsquellen können wir ein breites Spektrum an Dielektrika und Metallen in flexibler Zusammensetzung über ein breites Spektrum an Schichtdicken ressourcenschonend abscheiden. Ergänzt wird dies durch eine Parylen(Hochleistungspolymer)-Beschichtungsanlage zur Erzeugung von Isolationsschichten, ultradünnen Diffusionsbarrieren und mechanischen Schutzschichten. Zur Strukturierung im µm-Bereich werden wir unsere Laser-Strukturierungsanlage um eine Wellenlänge zur materialselektiven Laserablation ergänzen, und eine neue 5-Achs Mikrofräse dient zur Herstellung von mechanischen und fluidischen Strukturen im sub-mm Bereich, bzw. zur Herstellung entsprechender Abformungsformen. In der Charakterisierung werden wir unser modulares, integriertes Oberflächenprofilometer um ein Laser-Doppler Vibrometer zur dynamischen Oberflächenvermessung im Ultraschall-Bereich ergänzen können. Zu guter Letzt dient ein neuer Plasmaofen mit reduzierendem und oxidierendem Plasma der Oberflächenreinigung und -aktivierung, z.B. zum Plasmabonden.
Lead-free programmable multistable piezo-thermal actuators (LEAP)
Duration: 01.06.2020 bis 31.05.2025
We aim to develop novel multistable and programmable actuators based on the combination of piezoelectric and thermal actuation. Whilst generally creating new performance and functionality compared to present piezo actuators, we address the key challenge of implementing lead-free alternatives to conventional lead-ziconate-titanate (PZT) based ceramics.
2023
Peer-reviewed journal article
Reliability of tunable lenses - feedback sensors and the influence of temperature, orientation, and vibrations
Gowda, Hitesh G. B.; Bodo, Elisabetta; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike
In: Applied optics - Washington, DC : Optical Soc. of America, Bd. 62 (2023), Heft 12, S. 3072-3082
In-line refractive index measurement - a simple method based on image detection
Bodo, Elisabetta; Gowda, Hitesh G. B.; Wallrabe, Ulrike; Wapler, Matthias C.
In: Applied optics - Washington, DC : Optical Soc. of America, Bd. 62 (2023), Heft 23, S. 6282-6286
Fully refractive telecentric f-theta microscope based on adaptive elements for 3D raster scanning of biological tissues
Wang, Wenjie; Schmidt, Katharina; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike; Czarske, Jürgen W.; Koukourakis, Nektarios
In: Optics express - Washington, DC : Optica, Bd. 31 (2023), Heft 18, S. 29703-29715
Higher order wavefront correction and axial scanning in a single fast and compact piezo-driven adaptive lens
Gowda, Hitesh G. B.; Wallrabe, Ulrike; Wapler, Matthias C.
In: Optics express - Washington, DC : Optica, Bd. 31 (2023), Heft 14, S. 23393-23405
Self-sensing of a magnetically actuated prism
Weber, Pascal M.; Wallrabe, Ulrike; Wapler, Matthias C.
In: Sensors - Basel : MDPI, Bd. 23 (2023), Heft 12, Artikel 5493, insges. 10 S.
A miniaturized piezo stack impact actuation mechanism for out-of-plane freely moveable masses
Wapler, Matthias C.; Peter, Constantin; Kanjilal, Koustav; Wallrabe, Ulrike
In: Micromachines - Basel : MDPI, Bd. 14 (2023), Heft 6, Artikel 1192, insges. 11 S.
Article in conference proceedings
Herstellung hauchdünner, bleifreier Bariumtitanat-Piezokeramik mittels Inkjet Printing - Fabrication of wafer-thin, lead-free barium titanate piezoceramics using inkjet printing
Ketterer, Ines; Yang, Cheng-Kang; Cimen, Emine; Wapler, Matthias; Hanemann, Thomas
In: Tagung: MikroSystemTechnik Kongress 2023, Dresden, 23. - 25. Oktober 2023, Tagungsband MikroSystemTechnik Kongress 2023, Dresden, 23. - 25. Oktober 2023 , 2021 - Berlin : VDE Verlag ; Lakner, Hubert, S. 136-139
2021
Book chapter
Bi-axial magnetically actuated tunable prism
Weber, Pascal M.; Wapler, Matthias C.; Lemke, Florian; Wallrabe, Ulrike
In: The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems , 2021 - [Piscataway, NJ] : IEEE, S. 431-434
- Prof. Thomas Hanemann