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Nachhaltige Mikrosystemtechnik für Mikromechanik und biomedizinische Anwendungen
Duration: 01.02.2024 bis 31.12.2025
Gerätebeschaffung zur Konsolidierung und Modernisierung des Mikrosystemtechnik Labors, indbesondere in bezug auf wirtschaftliche udn ökologische Nachhaltigkeit.
Mit einer neuen modularen Beschichtungsanlage mit unterschiedlichen Sputter- und Verdampfungsquellen können wir ein breites Spektrum an Dielektrika und Metallen in flexibler Zusammensetzung über ein breites Spektrum an Schichtdicken ressourcenschonend abscheiden. Ergänzt wird dies durch eine Parylen(Hochleistungspolymer)-Beschichtungsanlage zur Erzeugung von Isolationsschichten, ultradünnen Diffusionsbarrieren und mechanischen Schutzschichten. Zur Strukturierung im µm-Bereich werden wir unsere Laser-Strukturierungsanlage um eine Wellenlänge zur materialselektiven Laserablation ergänzen, und eine neue 5-Achs Mikrofräse dient zur Herstellung von mechanischen und fluidischen Strukturen im sub-mm Bereich, bzw. zur Herstellung entsprechender Abformungsformen. In der Charakterisierung werden wir unser modulares, integriertes Oberflächenprofilometer um ein Laser-Doppler Vibrometer zur dynamischen Oberflächenvermessung im Ultraschall-Bereich ergänzen können. Zu guter Letzt dient ein neuer Plasmaofen mit reduzierendem und oxidierendem Plasma der Oberflächenreinigung und -aktivierung, z.B. zum Plasmabonden.
Lead-free programmable multistable piezo-thermal actuators (LEAP)
Duration: 01.06.2020 bis 31.05.2025
We aim to develop novel multistable and programmable actuators based on the combination of piezoelectric and thermal actuation. Whilst generally creating new performance and functionality compared to present piezo actuators, we address the key challenge of implementing lead-free alternatives to conventional lead-ziconate-titanate (PZT) based ceramics.